SEM-EDS 微区成分分析

测试内容：EDS 点扫（单点元素组成）、线扫（元素沿路径分布）、面扫（Mapping 元素分布图）；可配合 BSE 像定位目标区域。 适用样品：异物与污染源判断、焊点与镀层成分检查、陶瓷/合金成分偏析、包裹体元素鉴定。检测范围 Be–U。 交付内容：元素定量表（wt%/at%）、面扫分布图、测试报告。轻元素（C/N/O）定量误差较大，仅供参考。

异物样品请保留基体并圈出异物位置（可拍照标注）；表面污染样品请勿徒手触碰或胶带固定；粉末 ≥10 mg。

注塑件表面白点异物溯源：EDS 点扫确认含硅有机物残留，结合面扫分布图锁定脱模剂转移来源。